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产品中心

产品名称：HASO R-Flex 波前分析系统

产品类别：波前分析系统

产品详细：

HASO R-Flex 系列波前分析系统带有一个自准值仪，一个功率可调标准光源和可更换聚焦模块。给用户提供一个多功能的光学系统波前分析解决方案。其透射波前检测精度可达λ/100, 折返波前检测精度可达λ/200。

特点：

对振动和气流扰动不敏感，确保用户实现精密测量，满足用户对可靠性和重复性的严格要求。此外，如测量的畸变接近衍射极限，精度还可进一步提高。

由于不同的用户系统要求不同，我们提供F值从2到30的聚焦模块供用户选择。用户也可根据自己系统的要求定制匹配的聚焦模块。

HASO R-Flex系统输出发散光束，这使得测量大口径光学器件或系统十分简易，如下图所示。

HASO R-Flex 系统配有HASOv3 波前分析软件，可以时时显示波前像差，从而用户可以在系统装调过程中时时掌握波前情况，从而判断是否达到最佳位置。

系统体积小巧，不仅可以在轴检测，也可以离轴检测。

HASO R-Flex 32	Pupil size (mm²)	Sensitivity rms¹	Relative Accuracy rms¹	Sampling points	Weight	Size (w/h/d mm)
HASO R-Flex 32	4.9 x 6.1	3 nm	4 nm	32 x 40	0.7 Kg	114 x 70 x 98
Focusing Modules	Focal length (mm)2	f-number	WFE rms3 (nm)	Working distance (mm)4	Pupil imaging5	Pupil distortion
MOD32-2	9	2.0	20	1.2	NO	1.0%
MOD32-4	19	4.0	150	-2.3	YES	3.0%
MOD32-6.4	31	6.4	60	1.9	YES	1.5%
MOD32-10	45	10.0	40	-1.0	YES	0.7%
MOD32-12.5	60	12.5	30	11.5	YES	0.3%
MOD32-16	75	16.0	20	21.7	YES	0.2%
MOD32-24	117	24.0	20	29.0	YES	0.2%
MOD32-30	150	30.0	20	144.5	YES	0.2%


HASO R-Flex 76	Pupil size (mm²)	Sensitivity rms¹	Relative Accuracy rms¹	Sampling points	Weight	Size (w/h/d mm)
HASO R-Flex 76	8.7 x 11.4	3	4	76 x 100	1.6 Kg	80 x 194 x 244
Focusing Modules	Focal length (mm)2	f-number	WFE rms3 (nm)	Working distance (mm)4	Pupil imaging5	Pupil distortion
MOD76-3	26	3.0	30	10	NO	1.5%
MOD76-8.7	75	8.7	100	9	YES	1.8%
MOD76-13.4	115	13.4	80	30	YES	1.5%
MOD76-17	146	17.0	60	65	YES	1.0%


HASO R-Flex 128	Pupil size (mm²)	Sensitivity rms¹	Relative Accuracy rms¹	Sampling points	Weight	Size (w/h/d mm)
HASO R-Flex 128	14.6 x 14.6	3	4	128 x 128	1.6 Kg	80 x 194 x 270
Focusing Modules	Focal length (mm)2	f-number	WFE rms3 (nm)	Working distance (mm)4	Pupil imaging5	Pupil distortion
MOD128-2	26	2.0	60	10	NO	4.0%
MOD128-5.1	75	5.1	150	9	YES	3.5%
MOD128-7.9	115	7.9	100	30	YES	2.5%
MOD128-10	146	10.0	80	65	YES	2.0%

1: Can be divided by 2 if the optical system under test is characterized by double-pass method. 2: Focal length of the module. 3: WFE is the wavefront error at the output of the module for the largest included round pupil. 4: Distance between the focalization point and the mechanics (if negative, the focalization spot is inside the mechanics). 5: YES means that the microlenses are imaged at infinity by the module.

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