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Mini-DM |
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|
驱动单元阵列 |
6 x 6 (四个角落驱动器处于非活动状态) |
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驱动单元 最大变形量 |
1.5µm |
3.5µm |
5.5µm |
|
有效面积 |
1.5 x 1.5 mm |
2.0 x 2.0 mm |
2.25 x 2.25 mm |
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驱动单元中心距 |
300µm |
400µm |
450µm |
|
镀膜 |
金膜或铝膜 可选 |
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|
驱动单元平均步进精度 |
<1nm |
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|
滞后现象 |
无 |
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|
填充率 |
>99% |
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|
机械响应时间 |
20µs |
100µs |
500µs |
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表面质量 |
<20nm (RMS) |
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|
驱动器指标 |
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最大帧频 |
8kHz (34kHz bursts) |
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|
分辨率 |
14 Bit |
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|
接口 |
USB 2.0 |
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|
尺寸 |
4.0" x 5.25" x 1.25" (102 mm x 133 mm x 32 mm) |
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Multi-DM |
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驱动单元阵列 |
12 x 12 (四个角落驱动器处于非活动状态) |
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驱动单元 最大变形量 |
1.5µm |
3.5µm |
5.5µm |
|
有效面积 |
3.3 x 3.3 mm |
4.4 x 4.4 mm |
4 95x 4.95 mm |
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驱动单元中心距 |
300µm |
400µm |
450µm |
|
镀膜 |
金膜或铝膜 可选 |
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|
驱动单元平均步进精度 |
<1nm |
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|
滞后现象 |
无 |
||
|
填充率 |
>99%, 98% (SLM) |
||
|
机械响应时间 |
<20µs |
<100µs |
<500µs |
|
表面质量 |
<20nm (RMS) |
||
|
驱动器指标 |
|
||
|
最大帧频 |
8kHz (34kHz bursts) |
||
|
分辨率 |
14 Bit |
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|
接口 |
USB 2.0 |
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|
尺寸 |
9.0" x 7.0" x 2.5" (229 mm x 178 mm x 64 mm) |
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Kilo-DM |
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驱动单元阵列 |
32 x 32 (四个角落驱动器处于非活动状态) |
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驱动单元 最大变形量 |
1.5µm |
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有效面积 |
9.3 x 9.3 mm |
|
驱动单元中心距 |
300µm |
|
镀膜 |
金膜或铝膜 可选 |
|
驱动单元平均步进精度 |
<1nm |
|
滞后现象 |
无 |
|
填充率 |
>99%, 98% (SLM) |
|
机械响应时间 |
<20µs |
|
表面质量 |
<20nm (RMS) |
|
驱动器指标 |
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最大帧频 |
34kHz / 60kHz (Low Latency) |
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分辨率 |
14 Bit |
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接口 |
PCI Card |
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尺寸 |
19.0" x 18.5" x 5.25" (483 mm x 470 mm x 133 mm) |
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4K-DM |
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驱动单元阵列 |
64 x 64 (四个角落驱动器处于非活动状态) |
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驱动单元 最大变形量 |
3.5µm |
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有效面积 |
25.0 x 25.0 mm |
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驱动单元中心距 |
400µm |
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镀膜 |
金膜或铝膜 可选 |
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驱动单元平均步进精度 |
<1nm |
|
滞后现象 |
无 |
|
填充率 |
>99.5% |
|
机械响应时间 |
<100µs |
|
表面质量 |
<20nm (RMS) |
|
驱动器指标 |
|
|
最大帧频 |
20kHz |
|
分辨率 |
14 Bit |
|
接口 |
PCI Card |
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尺寸 |
19.0" x 14.0" x 5.25" (483 mm x 356 mm x 133 mm) |
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线性排列变形镜 |
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驱动单元阵列 |
1 x 140 |
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驱动单元 最大变形量 |
3.5µm |
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有效面积 |
1.2 x 41.7 mm (continuous) |
1.5 x 42mm (segmented) |
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驱动单元中心距 |
300µm |
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镀膜 |
金膜或铝膜 可选 |
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驱动单元平均步进精度 |
<1nm |
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|
滞后现象 |
无 |
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|
填充率 |
>99% |
98% |
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表面质量 |
13nm RMS (continuous) |
30nm RMS (segmented) |
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驱动器指标 |
|
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最大帧频 |
8kHz (34kHz burst) |
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|
分辨率 |
14 Bit |
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接口 |
USB |
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尺寸 |
9" x 7" x 2.5" (22.8 mm x 17.8 mm x 6.35 mm) |
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